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http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E6%8E%83%E6%8F%8F%E6%8E%A2%E9%87%9D%E9%A1%AF%E5%BE%AE%E9%8F%A1掃描探針顯微鏡（Scanning probe microscopy，SPM）是所有機械式地用探針在樣本上掃描移動以探測樣本影像的顯微鏡的統稱。其影像解析度主要取決於探針的大小〔通常在奈米的範圍〕。掃描隧道顯微鏡是第一個被發明的掃描探針顯微鏡〔1981年〕。種類AFM, 原子力顯微鏡EFM, 靜電力顯微鏡KPFM,開爾文探針力顯微鏡MFM,磁力顯微鏡MRFM, 磁共振力顯微鏡NSOM, 近場光學掃描顯微鏡;SNOM,掃描近場光學顯微鏡PSTM,光子掃描隧道顯微鏡SCM,電容掃描顯微鏡SGM, 門掃描顯微鏡SThM, 熱掃描顯微鏡STM, 掃描隧道顯微鏡SVM, 掃描電壓顯微鏡
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掃描探針顯微鏡（Scanning probe microscopy，SPM）是所有機械式地用探針在樣本上掃描移動以探測樣本影像的顯微鏡的統稱。其影像解析度主要取決於探針的大小〔通常在奈米的範圍〕。掃描隧道顯微鏡是第一個被發明的掃描探針顯微鏡〔1981年〕。
種類
AFM, 原子力顯微鏡
EFM, 靜電力顯微鏡
KPFM,開爾文探針力顯微鏡
MFM,磁力顯微鏡
MRFM, 磁共振力顯微鏡
NSOM, 近場光學掃描顯微鏡;SNOM,掃描近場光學顯微鏡
PSTM,光子掃描隧道顯微鏡
SCM,電容掃描顯微鏡
SGM, 門掃描顯微鏡
SThM, 熱掃描顯微鏡
STM, 掃描隧道顯微鏡
SVM, 掃描電壓顯微鏡
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